Ứng dụng của máy đo độ dày lớp phủ iEDX-150T:
- Kiểm tra chất lượng các lớp mạ cực mỏng trong ngành sản xuất linh kiện điện tử, bán dẫn.
- Đo độ dày lớp mạ trong ngành công nghiệp chế tạo tấm quang điện, PCB, chất bán dẫn, thiết bị điện tử.
- Phân tích lớp phủ mạ điện PCB, mạ điện kim loại.
- Phân tích sàng lọc RoHS.
- Xác minh độ dày và tính chất hóa học của các lớp phủ kim loại.
Tính năng
- Sử dụng buồng mẫu không chân không.
- Phân tích mạ nhiều lớp, phạm vi kiểm tra số lượng từ 1 đến 5 lớp.
- Độ chính xác của phép đo và phân tích độ dày lớp phủ có thể đạt 0,001μm.
- Phân tích nguyên tố từ Nhôm (Al) đến Uranium (U).
- Thời gian đo: 10 ~ 30 giây.
- Bệ đặt mẫu phân tích và buồng mẫu lớn.
- Camera CCD độ nét cao (2 triệu điểm ảnh), giám sát chính xác vị trí.
- Phù hợp đường cong giải mã phi tuyến đa biến.
- Phân tích FP / MLSQ hiệu suất cao.
- Áp dụng nhiều công nghệ phân tích và xử lý phù hợp quang phổ khác nhau.
- Có thể tăng phân tích thành phần hợp kim và các chức năng RoHS.
- Tích hợp giao diện phân tích độ dày lớp phủ và giao diện phân tích thành phần hợp kim.
- Phần mềm hỗ trợ phân tích mẫu phi tiêu chuẩn.
Chỉ số kỹ thuật:
- Kích thước dụng cụ: 618 × 525 × 490mm.
- Kích thước bàn mẫu: 250 × 220mm.
- Có 6 ống chuẩn trực và nhiều bộ lọc tự động chuyển đổi lựa chọn mức phù hợp.
- Nền tảng di động ba chiều XYZ, Tải trọng tối đa: 5Kg.
- Độ phân giải cao: 125 ± 5 electron volt (electron volt càng thấp, độ phân giải càng cao và kiểm tra càng chính xác. Đây là một chỉ số kỹ thuật rất quan trọng của máy quang phổ năng lượng).
- Cấu hình đầu dò SDD, ống tia X tuổi thọ cực cao, nguồn điện cao áp SPELLMAN, thiết bị sử dụng có tuổi thọ lâu dài.
- Cửa sổ Be của máy dò là 0,5mil (12,7μm).
- Ống tia X vi tiêu điểm 50kV / 1mA, mục tiêu molypden, rhodium (mục tiêu molypden tiêu điểm vi mô được trang bị cao).
- Phạm vi di chuyển của bàn đặt mẫu: 80mm theo trục XY (trước, sau, trái và phải), 90mm theo trục Z (chiều cao).
- Ứng dụng phần mềm MultiRay.
- Hệ điều hành Window.
- Ngôn ngữ thể hiện: tiếng Anh – Tiếng Hoa
Phần mềm
MultiRay là phần mềm có giao diện trực quan được thiết kế thân thiện, dễ dàng sử dụng sau một thời gian ngắn được hướng dẫn.
Phần mềm MultiRay bố cục dựa trên các Tab và menu xổ xuống giúp người dùng dễ dàng truy cập vào tất cả các chức năng.
Phần mềm MultiRay được cài đặt sẵn các dữ liệu mẫu của các lớp mạ kim loại và hợp kim cơ bản.
MultiRay cũng cung cấp chức năng giúp người dùng tự xây dựng và cập nhật thêm các mẫu của lớp mạ mới theo nhu cầu riêng.
Kết quả báo cáo phân tích:
- In báo cáo phân tích trực tiếp;
- Báo cáo có thể được chuyển đổi sang định dạng PDF, EXCEL để lưu trữ.
Xem thêm