Mô tả Sản phẩm:
- Độ phóng đại 150.000 lần (Độ phóng đại tối đa 150.000 X);
- Máy sử dụng đầu dò kép: Điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE). Có thể nâng cấp thêm đầu dò quang phổ tán xạ năng lượng (EDS).
- Điện áp tăng tốc 6 bước: 1kV ~ 30kV (1kV / 5kV / 10 kV / 15kV / 20kV / 30 kV).
- Phân tích thành phần nguyên tố có thể được thực hiện bằng EDS tùy chọn.
- Bệ đặt mẫu 3 trục (X,Y,Z) điều chỉnh thủ công, nghiêng 0o – 90o. Có thể nâng cấp lên 5 trục (X,Y,R,Z,T) điều khiển tự dộng.
Tính năng sản phẩm:
- Kính hiển vi điện tử quét để bàn, kích thước nhỏ gọn, chiếm ít không gian;
- Các chức năng phần mềm mạnh mẽ, giao diện hoạt động một cửa sổ cho phép người dùng thao tác dễ dàng và đơn giản;
- Phần mềm thực hiện lưu trữ thời gian thực của đồ họa phát hiện;
- Sản phẩm SEM có thiết kế cấu trúc đơn giản và dễ bảo trì, bảo dưỡng;
- Nền tảng tự động sử dụng chế độ định vị trung tâm để nhanh chóng xác định vị trí mẫu cần kiểm tra;
-Thiết kế chân không cao và điện áp có thể điều chỉnh, phù hợp hơn cho các mẫu khác nhau.
Thông số kỹ thuật:
|
Độ phân giải |
5nm (30kV, Hình ảnh SE) |
|
|
Phóng đại |
30 ~ 150.000 X |
|
|
Điện áp tăng tốc 6 bước |
1kV đến 30kV (1kV / 5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30kV) |
|
|
Tín hiệu hình ảnh kép |
Hình ảnh điện tử thứ cấp (SE) |
|
|
Hình ảnh điện tử bị tán xạ ngược (BSE) |
|
|
|
* Đa đầu dò (SE + BSE) |
|
|
|
Chế độ quan sát |
Chế độ căn bản |
|
|
Chế độ giảm phí tăng |
|
|
|
Hệ thống súng điện tử |
|
|
|
Loại sợi |
Dây tóc vonfram được căn chỉnh trước |
|
|
Định vị tự động |
Chế độ tự động định vị trung tâm để nhanh chóng xác định vị trí mẫu cần kiểm tra |
|
|
Căn chỉnh súng |
Thủ công |
|
|
Thành phần ống kính |
|
|
|
Ống kính ngưng tụ |
Thấu kính điện tử 2 giai đoạn |
|
|
Vật kính |
Thấu kính điện tử 1 giai đoạn |
|
|
Loại máy dò |
Máy dò SE / Máy dò BSE |
|
|
Bệ đặt mẫu |
Tự động hoặc thủ công |
|
|
Chuyển đổi hình ảnh |
Dịch chuyển hình ảnh X, Y (± 150um) |
|
|
Cỡ mẫu |
Đường kính 80mm khi chiều cao 40mm |
|
|
Quét hình ảnh |
Quét nhanh: 320x240 (Thời gian quét: 0,1 giây) |
|
|
Quét tốc độ thấp: 640x480 (Thời gian quét: 3 giây) |
|
|
|
Chế độ Hình ảnh 1: 1280x960 (Thời gian quét: 30 giây) |
|
|
|
Chế độ Hình ảnh 2: 2560x1920 (Thời gian quét: 60 giây) |
|
|
|
Chế độ Hình ảnh 3: 5120x3840 (Thời gian quét: 120 giây) |
|
|
|
Chức năng tự động |
Tự động khởi động, tự động lấy nét, tự động điều chỉnh độ sáng và độ tương phản |
|
|
Định dạng lưu trữ hình ảnh |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
|
|
Hiển thị dữ liệu |
Độ phóng đại, loại máy dò, điện áp, chế độ chân không, Biểu trưng (Văn bản), Ngày và giờ, Điểm đánh dấu văn bản, thanh tỷ lệ, v.v. |
|
|
Hệ thống chân không |
Chế độ chân không cao (Bơm cơ quay) Bơm quay/ 100Liters/ phút (Bơm phân tử Turbo) Bơm phân tử Turbo/ 70 lít/ giây Thời gian hút chân không: trong vòng 3 phút |
|
|
Hệ thống điều khiển |
chuột và bàn phím |
|
|
PC: Máy tính để bàn Hệ điều hành: Microsoft Windows 7 CPU: Intel CoreTM i5 hoặc phiên bản cao hơn Bộ nhớ/ HDD: 4GB/ 500GB hoặc phiên bản cao hơn, USB 2.0 |
|
|
|
Phần mềm |
Chức năng mở, chỉnh sửa, lưu trữ tệp hình ảnh, chức năng đo lường như chiều dài, diện tích và góc, khởi tạo số cài đặt, chuyển đổi chế độ chụp ảnh, lưu trữ, Chế độ cài đặt (EDS), v.v. |
|
|
Kích thước |
Máy chủ thiết bị-410 (W) × 660 (D) × 600 (H) mm Máy chủ điều khiển: 410 (W) × 290 (D) × 520 (H) mm Bơm chân không bên ngoài-400 (W) × 160 (D) × 340 (H) mm |
|
|
Trọng lượng |
105kg |
|
|
Môi trường |
Nhiệt độ: 15 ℃ ~ 30 ℃ |
|
|
Nguồn điện |
Một pha 100 ~ 240V AC, 1kW, 50 / 60Hz |
|
Xem thêm