- Mô tả Sản phẩm:
- Độ phóng đại tối đa 60.000 X;
- Máy sử dụng đầu dò kép: điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE). Có thể nâng cấp thêm đầu dò quang phổ tán xạ năng lượng (EDS)
- Điện áp tăng tốc 5 bước: 5kV ~ 30kV (5kV/10kV/20kV/25kV/30kV)
- Bệ đặt mẫu 3 trục (X, Y, Z) điều chỉnh thủ công, nghiêng 0o – 90o. Có thể nâng cấp lên 5 trục (X, Y, R, Z, T) điều khiển tự dộng.
- Nhà sản xuất: Shenzhen Sense (Shenzhen Sense Instrument Co., Ltd)
- Xuất xứ: (Trung Quốc)
- Tính năng sản phẩm:
- Kính hiển vi điện tử quét để bàn, kích thước nhỏ gọn và chiếm không gian nhỏ;
- Chức năng phần mềm mạnh mẽ, giao diện hoạt động một cửa sổ, cho phép người dùng thao tác thuận tiện và đơn giản;
- Phần mềm thực hiện lưu trữ thời gian thực của đồ họa phát hiện;
- Cấu trúc thiết kế của sản phẩm kính hiển vi điện tử quét đơn giản và dễ bảo trì, bảo dưỡng;
- Nền tảng tự động: sử dụng chế độ định vị trung tâm để nhanh chóng xác định vị trí mẫu cần kiểm tra.
- Thông số kỹ thuật:
|
Độ phân giải |
15 nm (30kV, Hình ảnh SE) |
|
20 nm (30kV, Hình ảnh BSE) |
|
|
Phóng đại |
30 – 60,000 X |
|
Điện áp tăng tốc 5 bước |
5kV đến 30kV (5kV / 10 kV / 15kV / 20kV / 30 kV) |
|
Tín hiệu hình ảnh kép |
Hình ảnh điện tử thứ cấp (SE) |
|
Hình ảnh điện tử bị tán xạ ngược (BSE) |
|
|
Đầu dò |
SE |
|
BSE |
|
|
EDS (EDX) (Tùy chọn) |
|
|
Hệ thống súng điện tử |
|
|
Loại sợi |
Dây tóc vonfram được căn chỉnh trước |
|
Định vị tự động |
Chế độ tự động định vị trung tâm để nhanh chóng xác định vị trí mẫu cần kiểm tra |
|
Căn chỉnh súng |
Thủ công |
|
Thành phần ống kính |
|
|
Ống kính ngưng tụ |
Thấu kính điện từ 2 giai đoạn |
|
Vật kính |
Thấu kính điện từ 1 giai đoạn |
|
Bệ đặt mẫu |
Di chuyển cơ học 3 trục (X, Y, R) |
|
Di chuyển tự động 5 trục (X, Y, R, Z, T) (Tùy chọn) |
|
|
Chuyển đổi hình ảnh |
±150μm (X-Y) |
|
Cỡ mẫu |
Đường kính 70mm khi chiều cao là 40mm |
|
Quét hình ảnh |
Quét tốc độ nhanh: 320x240 (Thời gian quét: 0,1 giây) |
|
Quét tốc độ thấp: 640x480 (Thời gian quét: 3 giây) |
|
|
Chế độ hình ảnh 1: 1280x960 (Thời gian quét: 30 giây) |
|
|
Chế độ hình ảnh 2: 2560x1920 (Thời gian quét: 60 giây) |
|
|
Chế độ hình ảnh 3: 5120x3840 (Thời gian quét: 120 giây) |
|
|
Chức năng tự động |
Tự động khởi động, tự động lấy nét, tự động điều chỉnh độ sáng và độ tương phản |
|
Định dạng lưu trữ hình ảnh |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
|
Hiển thị dữ liệu |
Độ phóng đại, loại máy dò, điện áp, chế độ chân không, Biểu trưng (Văn bản), Ngày và giờ, Điểm đánh dấu văn bản, tỷ lệ, v.v. |
|
Hệ thống chân không |
Chế độ chân không cao |
|
(Bơm cơ quay) Bơm quay / 100Liters / phút |
|
|
(Bơm phân tử Turbo) Bơm phân tử Turbo / 70 lít / giây |
|
|
Thời gian hút chân không: trong vòng 3 phút |
|
|
Hệ thống điều khiển |
Máy tính để bàn, Chuột và bàn phím |
|
Phần mềm |
Mở tệp hình ảnh, chỉnh sửa, độ dài chức năng lưu trữ, diện tích, góc và các chức năng đo lường khác, khởi tạo số cài đặt , chuyển đổi chế độ chụp ảnh, Lưu trữ, chế độ Cài đặt (EDS), v.v. |
|
Kích thước |
Máy chủ thiết bị: 410 (W) × 660 (D) × 600 (H) mm |
|
Bơm chân không bên ngoài: 400 (W) × 160 (D) × 340 (H) mm |
|
|
Trọng lượng |
95kg |
|
Môi trường hoạt động |
Nhiệt độ: 15 ℃ ~ 30 ℃ |
|
Độ ẩm: 70% trở xuống |
|
|
Nguồn điện |
Một pha 100 ~ 240V AC, 1kW, 50 / 60Hz |
Xem thêm